Przepływ procesu trawienia

1. Czyszczenie podstawy

Czyszczenie ultradźwiękowe, obróbka roztworu kwasowo -alkalicznego (takie jak czyszczenie RCA), czyszczenie plazmy i inne metody są stosowane do usuwania zanieczyszczeń powierzchniowych (olej, cząsteczki, warstwa tlenku).

2. Powłoka fotorezystów

Obróć powłokę, aby utworzyć jednolitą warstwę fotorezystów, wyprzedzić, aby usunąć rozpuszczalniki i poprawić przyczepność.

3. Ekspozycja i rozwój

Ekspozycja: Zastosowanie maski do napromieniowania światłem ultrafioletowym, głębokim światłem ultrafioletowym lub ekstremalnym światłem ultrafioletowym w celu wywołania reakcji fotochemicznej u fotografowania.

Rozwój: Rozpuść odsłonięty obszar (żel dodatni) lub nienaświetlony obszar (żel ujemny) za pomocą rozwijającego się rozwiązania w celu wystawiania obszaru do wytrawienia.

4. Trawienie

Trawienie na mokro: zanurz podłoże w roztworze trawiącym lub lecz go poprzez opryskiwanie.

Suchy trawienie: gaz reaktywny (taki jak Cl ₂, CF ₄) jest wprowadzany do komory próżniowej w celu podniecenia osocza do trawienia.

5. Usuń usuwanie fotorezystów

Mokre żelatynizacja: Użyj rozpuszczalników, takich jak aceton, N-metylopirolidon (NMP) lub silne kwasy/utleniacze (takie jak H ₂+H ₂ O ₂).

Sucha żelatynizacja: zasiłek w osoczu tlenu, wydajne i wolne od pozostałości.

6. Przetwarzanie i inspekcja końcowa

Czyszczenie: Usuń produkty uboczne trawienia i resztkowe odczynniki.

Wykrywanie: Przeanalizuj jego morfologię, zmierzyć jej rozmiar i przeprowadzaj badania elektryczne poprzez skanowanie mikroskopu.